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1、表格审查

高新技术企业审查过程中，税务部门会详细查看企业的所得税纳税申报表、高新优惠明细表和财务报表，这些表格用于确认企业是否符合高新技术企业的认定条件，包括职工人数、研发费用等关键指标。

2、重大税务处罚与偷税漏税情况

税务部门会检查企业是否有发生重大税务处罚或偷税漏税的情况，这是审查的重要内容之一，因为任何重大税务违规行为都可能导致企业失去高新技术企业资格。

3、研发项目及人员核查

审查中会重点查看企业的研发项目立项和验收情况，对科技人员数与工资数额进行比对，还会核对研发费用是否合理，确保企业确实在进行有效的研发活动。

4、财务报表勾稽联系

财务报表之间的勾稽联系是审查的一部分，确保前后年度数据保持一致，特别是上年度与本年度的资产、负债、所有者权益数据需要衔接得当，以证明企业的财务健康状况。

5、高新技术产品（服务）收入核查

税务部门会归集整理企业的高新技术产品（服务）收入，并与企业财务账簿进行核对，确保企业所申报的高新技术产品（服务）收入真实可靠，达到高新技术企业认定的收入比例要求。